MO-CVD

metal organic-chemical vapor deposition
有機金属化学的気相成長法。蒸着したい金属を炭化水素基と結合させ（有機金属）、気化や輸送を容易にする。反応チャンバ内で、プラズマや熱などで反応性ガスを励起し、化学反応を促進する薄膜成長法。
膜厚を原子層オーダで制御することができるため、半導体レーザを初めとするナノテクノロジーといった数nmの設計が必要な分野で用いられる。