SMIF（スミフ）

standard of mechanical interface
ウェハカセットの搬送・保管用のケース（ポッド）。この中に収納したウェハはクリーン度を保つことができる。高度なクリーンルーム内でなくてもICの製造（前工程）が可能になる。このため「局所クリーン化技術」ともよばれる。
→FOUP、クリーンルーム