MEMS

micro electro-mechanical system
欧州ではMST（Micro System Technology）とも呼ぶ。シリコンプロセスで培われた微細加工技術を用いて作製された、可動部を含む微小機械システムの総称。電子回路を搭載したものもある。圧力センサ、光通信部品、医療・バイオチップなど幅広い分野で応用されている。