RCA 洗浄

RCA cleaning
米国RCA社によって開発された、IC製造工程における代表的なシリコンウェハ洗浄法。
高温プロセス（酸化、拡散、化学気相成長）の前に行われ、下記のプロセスを行う。
①有機物汚染とパーティクル汚染の除去
②酸化物層の除去
③イオン汚染の除去
④リンスと感想