統計的なゆらぎ macroscopic fluctuation/statistical fluctuation微細な大規模ICにおいて、不規則に発生する素子特性のばらつき(ゆらぎ)。微細化の進展によって、従来は無視できたような製造上の加工ばらつき(素子形状や不純物分布など)が、先端デバイスでは素子特性に影響するなど、問題として顕在化してきている。