二酸化シリコン

silicon dioxide
一般に「酸化膜」という。シリコン酸化膜ともいう。シリコン（Si）と酸素（O2）の化合物（SiO2）で、非常に安定な膜である。IC のMOSトランジスタのゲート絶縁膜やその他さまざまなところで用いられる。