変形照明技術

off-axis illumination
露光装置で、解像度や焦点深度を向上させるために、光軸の中心を外した位置に絞りを入れ、フォトマスクに対して露光光束を斜めに入射させる照明方法。斜入射照明（Oblique Illumination）ともいう。通常はマスクに垂直に光を入射する。変形照明アパーチャとして、輪状に光を透過させる輪帯照明（Annular Illumination）や4 極照明（4 つの円状の孔から光を透過させる）などがある。