ポリサイド

polycide
ゲート電極構造の一つ。プロセスの微細化に対応したゲート抵抗の低抵抗化のために用いる。ポリシリコン（多結晶シリコン）とCVDあるいはスパッタリングで形成したシリサイド（ケイ素化合物）を重ねた構造。タングステンシリサイド（WSi2）、コバルトシリサイド（CoSi2）、チタンシリサイド（TiSi2）などがある。