シリコンインターポーザー

Silicon Interposer
樹脂インターポーザーと違い、半導体チップをフリップチップ実装しても熱膨張係数が同じため電気特性がよく、高速・高周波領域でも動作特性が良い。より微細な配線やバンプ形成が可能になる。